Công ty Trung Quốc nộp bằng sáng chế công nghệ độc quyền của ASML
Công ty Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE) mới đây đã nộp bằng sáng chế liên quan đến công nghệ quang khắc EUV, vốn độc quyền bởi ASML.
Từ khóa “
máy EUV
”Công ty Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE) mới đây đã nộp bằng sáng chế liên quan đến công nghệ quang khắc EUV, vốn độc quyền bởi ASML.